标准号：T/WHQASA 12-2024
标准名称：10.5G 化学气相沉积设备用下部加热基座
团体名称：芜湖市质量与标准化协会
发布日期：2024年12月30日
实施日期：2024年12月30日
1 范围
2 规范性引用文件
3 术语和定义
4 要求
5 试验方法
6 检验规则
7 标志和随行文件
8 包装、运输和贮存
起草单位：芜湖通潮精密机械股份有限公司、合肥京东方显示技术有限公司、芜湖芯通半导体材料有限公司、芜湖长信科技股份有限公司、芜湖晶纯科技有限公司、安徽润景信息科技有限公司。
起草人：司奇峰、王慧、刘其贵、何新玉、熊宏祥、王玉亮、王宜申、吴小杰、郑建军、王茹、黄锦祥、张丽