适用范围：IEC62047-2:2006标准适用于半导体器件中的微机电系统（MEMS）技术领域，具体规定了MEMS器件的术语、定义和基本测试方法。该标准主要针对微米和纳米尺度下的机电系统，为MEMS器件的设计、制造和测试提供统一的技术规范，适用于MEMS传感器、执行器及相关微型器件的开发和应用。
IEC 62047-2:2006 半导体器件 微电子机械器件 第2部分：薄膜材料拉伸试验方法
IEC 62047-2:2006 半导体器件 微电子机械器件 第2部分：薄膜材料拉伸试验方法
适用范围：IEC62047-2:2006标准适用于半导体器件中的微机电系统（MEMS）技术领域，具体规定了MEMS器件的术语、定义和基本测试方法。该标准主要针对微米和纳米尺度下的机电系统，为MEMS器件的设计、制造和测试提供统一的技术规范，适用于MEMS传感器、执行器及相关微型器件的开发和应用。
IEC 62047-2:2006 半导体器件 微电子机械器件 第2部分：薄膜材料拉伸试验方法
IEC 62047-2:2006 半导体器件 微电子机械器件 第2部分：薄膜材料拉伸试验方法