标准号：DB13/T 6141-2025
标准名称：高纯度钨部件性能评价方法
发布日期：2025-05-27
实施日期：2025-06-03
本文件规定了半导体制造用高纯度钨部件化学成分、物理性能的评价方法，包括检测原理、试剂或材料、仪器设备、样品、测定步骤及结果处理等。
本文件适用于半导体制造用高纯度钨部件的金属杂质元素和物理性能的评价。
起草单位：中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八研究所
起草人：王亚峰、彭立培、刘跃旭、薄林、裴佳莹、李丹丹、林坤、郑艺
DB13/T 6141-2025 高纯度钨部件性能评价方法
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