标准号：DB13/T 6137-2025
标准名称：高纯六氟化钨中杂质的检测
发布日期：2025-05-27
实施日期：2025-06-03
本文件规定了电子工业用气体高纯六氟化钨中杂质的检测原理、试剂或材料、仪器设备、样品、测定步骤及结果处理等。
本文件适用于电子工业用气体高纯六氟化钨中氧+氩、氧气、一氧化碳、四氟化碳、二氧化碳、六氟化硫、四氟化硅、氟化氢、金属元素含量的测定。
起草单位：中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司
起草人：马茜茜、崔雯、安园园、张露露、滕鑫胜、殷越玲、陈琛、李帅楠
DB13/T 6137-2025 高纯六氟化钨中杂质的检测
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