DB13/T 6140-2025 碳酰氟中杂质的测定

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标准号:DB13/T 6140-2025

标准名称:碳酰氟中杂质的测定

发布日期:2025-05-27

实施日期:2025-06-03

本文件规定了电子工业用气体碳酰氟中杂质的检测原理、试剂或材料、仪器设备、样品、测定步骤及结果处理等。

本文件适用于电子工业用气体碳酰氟中氢气、氧气+氩气、氮气、一氧化碳、二氧化碳、四氟化碳、三氟化氮、氧化亚氮和氟化氢的测定。

起草单位:中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司

起草人:倪珊珊、郑秋艳、崔雯、苏子杰、滕莹、魏晓娟、王蒙蒙、张露露

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