标准号:GB 50646-2011
标准名称:特种气体系统工程技术规范
发布时间:2011-07-26
实施时间:2012-06-01
本规范适用于新建、改建和扩建的电子工厂的特种气体系统工程的设计、施工和验收;不适用于特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计、施工和验收。

标准号:GB 50646-2011
标准名称:特种气体系统工程技术规范
发布时间:2011-07-26
实施时间:2012-06-01
本规范适用于新建、改建和扩建的电子工厂的特种气体系统工程的设计、施工和验收;不适用于特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计、施工和验收。
