GB/T 46191-2025 电子级五（二甲氨基）钽

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标准号：GB/T 46191-2025

标准名称：电子级五（二甲氨基）钽

发布日期：2025-10-05

实施日期：2026-05-01

GB/T 46191-2025由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准委。

适用范围：本文件规定了半导体行业用电子级五(二甲氨基)钽的技术要求、检验规则、包装、标志及随货资料、运输、贮存及安全信息的要求,描述了相应的检测方法。本文件适用于沉积氮化钽、氧化钽和钽掺杂物等钽基薄膜的电子级五(二甲氨基)钽。

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