标准号：GB/T 46173-2025
标准名称：电子气体 惰性稀有气体
发布日期：2025-10-05
实施日期：2026-05-01
GB/T 46173-2025由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。
适用范围：本文件规定了惰性稀有气体的技术要求，描述了相应的试验方法，还规定了采样、检验规则、标志、包装、运输及贮存要求并提供了安全信息。 本文件适用于以工业惰性稀有气体为原料提纯制得的惰性稀有气体。