标准号：GB/T 47089-2026
标准名称：蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法
发布日期：2026-01-28
实施日期：2026-08-01
GB/T 47089-2026由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
适用范围：本文件描述了蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法。 本文件适用于蓝宝石图形化衬底表面单个图形和图形阵列几何参数的测定。
标准号：GB/T 47089-2026
标准名称：蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法
发布日期：2026-01-28
实施日期：2026-08-01
GB/T 47089-2026由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
适用范围：本文件描述了蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法。 本文件适用于蓝宝石图形化衬底表面单个图形和图形阵列几何参数的测定。