GB/T 47080-2026 金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法

标准号：GB/T 47080-2026

标准名称：金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法

发布日期：2026-01-28

实施日期：2026-08-01

GB/T 47080-2026由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。

适用范围：本文件描述了用干法刻蚀结合显微计数测试立方金刚石单晶抛光片位错密度的方法。 本文件适用于{100}、{110}或{111}晶面立方金刚石单晶抛光片位错密度范围为5×103个/cm2~5×107个/cm2的测试。