标准号：GB/T 47081-2026
标准名称：氮化硅粉体中铁、铝、钙含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法
发布日期：2026-01-28
实施日期：2026-08-01
GB/T 47081-2026由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
适用范围：本文件描述了氮化硅粉体中铁、铝、钙含量的电感耦合等离子体发射光谱测定方法。 本文件适用于氮化硅粉体中铁、铝、钙含量的测定，测定范围为0.001 mg/g~4.00 mg/g。