标准号：GB 47499-2026
标准名称：改良西门子法生产多晶硅安全规范
发布日期：2026-04-30
实施日期：2027-05-01
GB 47499-2026由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为工业和信息化部。
适用范围：本文件规定了采用改良西门子法（氯硅烷法）生产多晶硅的企业（以下简称“企业”）开展安全生产的过程和要求。 本文件适用于我国多晶硅生产企业的安全管理。
标准号：GB 47499-2026
标准名称：改良西门子法生产多晶硅安全规范
发布日期：2026-04-30
实施日期：2027-05-01
GB 47499-2026由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为工业和信息化部。
适用范围：本文件规定了采用改良西门子法（氯硅烷法）生产多晶硅的企业（以下简称“企业”）开展安全生产的过程和要求。 本文件适用于我国多晶硅生产企业的安全管理。