标准号：JB/T 8945-2010
标准名称：真空溅射镀膜设备
代替标准：JB/T 8945-1999
发布日期：2010-02-21
实施日期：2010-07-01
本标准规定了真空溅射镀膜设备的基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于压力在1×10-1Pa～1×10-3Pa范围的真空溅射镀膜设备。
批准发布部门：工业和信息化部行业分类无
全国真空技术标准化技术委员会
起草单位：广东中环真空设备有限公司、成都南光机器有限公司等
起草人：蔡东锋、张远青 等