标准号:YS/T 1068-2015
标准名称:制备钌靶用钌粉
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
本标准适用于制备硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉(以下简称钌粉)。
批准发布部门:工业和信息化部行业分类制造业
全国有色金属标准化技术委员会
起草单位:贵研铂业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院
起草人:谭志龙、郭俊梅、熊晓东等
标准号:YS/T 1068-2015
标准名称:制备钌靶用钌粉
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
本标准适用于制备硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉(以下简称钌粉)。
批准发布部门:工业和信息化部行业分类制造业
全国有色金属标准化技术委员会
起草单位:贵研铂业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院
起草人:谭志龙、郭俊梅、熊晓东等