标准号：YS/T 15-2015
标准名称：硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
代替标准：YS/T 15-1991
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
本标准适用于外延层和扩散层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的硅外延层和扩散层厚度的测量，测量范围：1μm～100μm。
批准发布部门：工业和信息化部行业分类制造业
全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
起草人：马林宝、杨帆、葛华等