标准号：SJ/T 11636-2016
标准名称：电子工业用显影液中四甲基氢氧化铵的测定 自动电位滴定法
发布日期：2016-04-05
实施日期：2016-09-01
本标准规定了用自动电位滴定法测定电子工业用显影液中四甲基氧化含量的方法。本标准适用于电子工业用显影液中四甲基氢氧化铵含量的测定。
批准发布部门：工业和信息化部行业分类无
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：杭州格林达化学有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人：尹云舰、王香、陈玉英 等
标准号：SJ/T 11636-2016
标准名称：电子工业用显影液中四甲基氢氧化铵的测定 自动电位滴定法
发布日期：2016-04-05
实施日期：2016-09-01
本标准规定了用自动电位滴定法测定电子工业用显影液中四甲基氧化含量的方法。本标准适用于电子工业用显影液中四甲基氢氧化铵含量的测定。
批准发布部门：工业和信息化部行业分类无
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：杭州格林达化学有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人：尹云舰、王香、陈玉英 等