标准号：YS/T 1508-2021
标准名称：钯蒸发料
发布日期：2021-12-02
实施日期：2022-04-01
本文件规定了钯蒸发料的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。
本文件适用于半导体行业用的钯蒸发料。
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：有研亿金新材料有限公司、成都光明派特贵金属有限公司、北京翠铂林有色金属技术开发中心有限公司、北京有色金属与稀土应用研究所
起草人：侯智超、高岩、贺昕、石映奔、王鹏、牟冉冉、滕海涛、罗瑶、张巧霞、吕保国、董亭义、王炜