YS/T 1392-2020氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法

标准号：YS/T 1392-2020

标准名称：氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法

发布时间：2020-12-09

实施时间：2021-04-01

中国标准分类：H17

国际标准分类：77.04

批准发布部门：工业和信息化部

起草单位：

起草人：

本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围（体积分数）：二氯二氢硅为0.01 %～20 %，三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %～100 %。