标准号：YS/T 1392-2020
标准名称：氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法
发布时间：2020-12-09
实施时间：2021-04-01
中国标准分类：H17
国际标准分类：77.04
批准发布部门：工业和信息化部
起草单位：
起草人：
本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围（体积分数）：二氯二氢硅为0.01 %～20 %，三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %～100 %。
YS/T 1392-2020氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法
免费下载
本平台标准仅供学习参考，使用请以正式出版的标准版本为准。声明：资源收集自网络分享，所提供的电子版文档仅供学习参考，如侵犯您的权益，请联系我们处理。
不能下载？报告错误