标准号：YS/T 38.3-2023
标准名称：高纯镓化学分析方法 第3部分：痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
发布日期：2023-04-21
实施日期：2023-11-01
本文件规定了高纯镓中痕量杂质元素含量的测定方法。
本文件适用于高纯镓中痕量杂质元素含量的测定。各元素测定范围见表1。
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
起草单位：国合通用测试评价认证股份公司、国标（北京）检验认证有限公司、广东先导稀材股份有限公司、南京金美镓业有限公司、厦门市科力电子有限公司、北京清质分析技术有限公司、贵研检测科技（云南）有限公司、合肥中晶新材料有限公司
起草人：刘红、刘鹏宇、胡芳菲、杨复光、赵景鑫、孙道儒、朱赞芳、汪洋、李俊需、李铭、马媛、程平