YS/T 1635-2023 镍铬合金靶材

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标准号:YS/T 1635-2023

标准名称:镍铬合金靶材

发布日期:2023-12-20

实施日期:2024-07-01

本文件规定了镀膜用镍铬合金靶材的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。

本文件适用于纯度大于99.5%的低辐射玻璃(low-e玻璃)及薄膜电阻镀膜用镍铬合金靶材(以下简称“靶材”)。

起草单位:南京达迈科技实业股份有限公司、江苏海泰新材料科技有限公司、南京欧美达应用材料科技有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司

起草人:吴宇宁、钟成铭、王雷、周其刚、徐海斌、卿海标、姚力军、曹欢欢、廖培君、边逸军、陈玉蓉、徐国进、高岩、张博厚

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