标准号：SJ/T 11450-2023
标准名称：单晶炉能源消耗规范
发布日期：2023-12-29
实施日期：2024-04-01
本文件规定了单晶炉能源消耗等级指标、可比单耗计算方法和评价规则。
本文件适用于装料量为420kg~1500kg的单晶炉。
起草单位：北京北方华创真空技术有限公司、中国电子技术标准化研究院、北京赛西认证有限责任公司
起草人：黄鸣、丁文革、谭三成、常晓鱼、张生春
SJ/T 11450-2023 单晶炉能源消耗规范
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