YS/T 28-2024 硅片包装和标志

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标准号:YS/T 28-2024

标准名称:硅片包装和标志

发布日期:2024-10-24

实施日期:2025-05-01

本文件规定了硅片的包装、标志、运输和贮存。

本文件适用丁硅单晶抛光片、硅外延片、SOI硅片、硅单晶腐蚀片、硅单晶研磨片(简称硅研磨片)、太阳能电池用硅片等的包装、标志、运输和贮存。其他晶片(如碳化硅抛光片等)的包装、标志、运输和贮存可参照使用。

起草单位:浙江海纳半导体股份有限公司、山东有研半导体材料有限公司、南京国盛电子有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司、浙江中晶科技股份有限公司、麦斯克电子材料股份有限公司、阜宁协鑫光伏科技有限公司、开化县检验检测研究院、浙江众晶电子有限公司、海纳半导体(山西)有限公司

起草人:潘金平、沈益军、肖世豪、宁永铎、骆红、饶伟星、邓浩、张海英、张立安、徐新华、黄笑容、熊诚雷、宋晓飞、邹剑秋、陈锋

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