标准号：YS/T 1745-2025
标准名称：分子束外延（MBE）用高纯铝源
发布日期：2025-04-10
实施日期：2025-11-01
本文件规定了分子束外延（MBE）用高纯铝源（以下简称高纯铝源）的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容。
本文件适用于高纯铝源的生产、检测及质量评价。
起草单位：南通泰德电子材料科技有限公司、广东先导微电子科技有限公司、武汉拓材科技有限公司、中国科学院半导体研究所、厦门市科力电子有限公司、昆明物理研究所
起草人：丁潇、石潇、吴广杰、李清宇、卢鹏荐、曾小龙、王国伟、郑红军、丁蔡辰、刘京明、董志远、赵俊、石晶晶、范录、李俊需