标准号：JB/T 5631-1991
标准名称：半导体器件外延炉能耗分等
发布日期：1991-08-27
实施日期：1992-07-01
本标准规定了半导体器件外延炉（以下简称外延炉）能耗分等。本标准适用于电子工业企业外延炉。
批准发布部门：机械电子工业部行业分类无
标准号：JB/T 5631-1991
标准名称：半导体器件外延炉能耗分等
发布日期：1991-08-27
实施日期：1992-07-01
本标准规定了半导体器件外延炉（以下简称外延炉）能耗分等。本标准适用于电子工业企业外延炉。
批准发布部门：机械电子工业部行业分类无