标准号：JB/T 5629-1991
标准名称：半导体器件烧结炉能耗分等
发布日期：1991-08-27
实施日期：1992-07-01
本标准规定了半导体器件烧结炉能耗分等。本标准适用于电子工业企业半导体器件容量大于或等于20kM的烧结炉（以下简称烧结炉），单台或炉群。
批准发布部门：机械电子工业部行业分类无
JB/T 5629-1991 半导体器件烧结炉能耗分等
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