标准号：JB/T 5633-1991
标准名称：单晶炉能耗分等
发布日期：1991-08-27
实施日期：1992-07-01
本标准规定了单晶炉能耗分等。本标准适用于电子工业企业直拉式和区熔式硅单晶炉。
批准发布部门：机械电子工业部行业分类无
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