标准号：JB/T 6922-2004
标准名称：真空蒸发镀膜设备
代替标准：JB/T 6922-1993
发布日期：2004-10-20
实施日期：2005-04-01
本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型式和基本参数、技术要求、试验方法、检验规则及标增、包装、运输、贮存等要求。本标准适用于极限压力在5×10^(-4)pa～5×10^(-3)Pa范围的真空蒸发镀膜设备。
批准发布部门：国家发展和改革委员会行业分类无
全国真空技术标准化技术委员会
起草单位：北京北仪创新真空技术有限公司、沈阳真空技术研究所
起草人：周毅、陈月增