JJF 1100-2003 平面等厚干涉仪校准规范

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标准号:JJF 1100-2003

标准名称:平面等厚干涉仪校准规范

发布日期:2003-05-12

实施日期:2003-11-12

起草单位:中国测试技术研究院

起草人:冉庆(中国测试技术研究院)、陈永康(中国测试技术研究院)、李建民(中国测试技术研究院)、曹箭(中国测试技术研究院)

本规范适用于平面等厚干涉仪的校准,不适用于只能估读干涉条纹弯曲量的同类干涉装置的校准。

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