标准号：JJF 1351-2012
标准名称：扫描探针显微镜校准规范
发布日期：2012-06-18
实施日期：2012-09-18
起草单位：中国航空工业集团公司北京长城计量测试研究所、中国计量科学研究院、贵州计量测试院、上海计量测试技术研究院
起草人：朱振宇（中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所）、任冬梅（中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所）、傅云霞（上海计量测试技术研究院）、李源（上海计量测试技术研究院）、吕小洁（贵州计量测试院）、卢明臻（中国计量科学研究院）、李华丰（中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所）
本规范适用于以几何表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准。
扫描探针显微镜根据其设计原理不同，校准时需要根据实际情况选择相关的计量特性。对有特殊要求的测量任务,如对溯源要求较高的测量，不在本校准规范的适用范围。