标准号：JJF 1895-2021
标准名称：半导体器件直流和低频参数测试设备校准规范
发布日期：2021-02-23
实施日期：2021-08-23
起草单位：中国电子技术标准化研究院、中国计量科学研究院、北京市科通电子继电器总厂有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、北京励芯泰思特测试技术有限公司
起草人：刘冲(中国电子技术标准化研究院)、李洁(中国电子技术标准化研究院)、张珊(中国电子技术标准化研究院)、高英(中国计量科学研究院)、李奇(北京市科通电子继电器总厂有限公司)、乔玉娥(中国电子科技集团公司第十三研究所)、李力军(北京励芯泰思特测试技术有限公司)
本规范适用于半导体器件直流和低频参数测试设备的校准。
半导体器件直流和低频参数测试设备 (以下简称被校设备)由偏置电压源、偏置电流源、电压测量单元、电流测量单元、低频信号源等组成，主要用于各类半导体器件直流参数、低频参数的测试。