标准号：T/NXCL 004-2021
标准名称：旋转硅靶材
发布日期：2021-11-11
实施日期：2021-11-11
本文件规定了旋转硅靶材的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规格、标志、包装、运输、贮存等方面的内容。
本文件适用于旋转硅靶材。
批发部门：宁夏材料研究学会
起草单位：北方民族大学、厦门大学、宁夏高创特能源科技有限公司、宁夏大学、宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、大工（青岛）新能源材料技木研究院有限公司
起草人：盛之林、杨少林、罗学涛、盛旺、范占军、安百俊、黄柳青、卢辉、吴建栋、陆有军、郭生伟、高忙忙、顾燕滨、姜永庆、王黎光、芮阳、姜大川、郭校亮