标准号：T/QGCML 4573-2024
标准名称：高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘生产制造规范
发布日期：2024-08-12
实施日期：2024-08-27
本文件规定了高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘生产制造规范的术语和定义、缩略语、场地和人员、设备、材料、加工流程、成品质量、环境保护、安全。
本文件适用于高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘（以下简称“网格盘”）的生产制造。
起草单位：常熟市兆恒众力精密机械有限公司、苏州市兆丰精密机械有限公司、苏州新意精密机械有限公司
起草人：罗中平、雷超、赵鹏志