标准号：T/QGCML 4572-2024
标准名称：高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范
发布日期：2024-08-12
实施日期：2024-08-27
本文件规定了高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范的术语和定义、场地和人员、设备、材料、加工流程、成品质量、环境保护、安全。
本文件适用于高精度超洁净晶圆卡爪（以下简称“卡爪”）的生产制造。
起草单位：常熟市兆恒众力精密机械有限公司、苏州市兆丰精密机械有限公司、苏州新意精密机械有限公司
起草人：罗中平、雷超、赵鹏志
T/QGCML 4572-2024 高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范
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