标准号：T/CASMES 432-2024
标准名称：X射线光电子能谱（XPS）测试服务规范
团体名称：中国中小企业协会
发布日期：2024年11月25日
实施日期：2024年12月01日
本文件规定了X射线光电子能谱（XPS）测试服务的基本要求、服务流程、服务质量管理。
起草单位：杭州研趣信息技术有限公司、江苏集萃光电检测中心有限公司、常熟理工学院、季华实验室、南通默斯检测有限公司、北京理工大学重庆创新中心、青岛大学、哈工大郑州研究院、广东省科学院半导体研究所、哈尔滨工业大学
起草人：陈龙、朱旦、殷尧、殷文宇、周玉铎、顾坚、李亚丽、许红星、李文豪、王巧、杨磊