标准号：T/COS 029-2025
标准名称：电子封装用高硅铝合金化学分析方法痕量杂质元素的测定辉光放电质谱法
团体名称：中国兵工学会
发布日期：2025年10月01日
实施日期：2025年10月01日
1范围
2规范性引用文件
3术语和定义
3.1
背景空白样品
3.2
质量校正标准样品
3.3
仪器检测器校正标准样品
3.4
ICE
3.5
半定量分析法
4原理
5试剂和材料
5.1无水乙醇（ρ约0.789g/mL），优级纯。
5.2盐酸（ρ约1.19g/mL），优级纯。
5.3硝酸（ρ约1.42g/mL），优级纯。
5.4氢氟酸（ρ约1.19g/mL），优级纯。
5.5王水（1+3）
5.6盐酸（1+1）
5.7氩气
5.8高硅铝合金标准物质
6仪器设备
6.1辉光放电质谱仪（GDMS）
6.2制样加工设备
7样品
7.1试样具有均匀性和代表性
7.2常规棒状或片状金属样品
8试验步骤
8.1仪器准备工作
8.2测定
8.3相对灵敏度因子的测定
8.4样品测量
9试验数据处理
10精密度
11检测报告
起草单位：中国兵器工业集团第五二研究所，中国兵器工业集团第五三研究所，中国电子科技集团公司第二十九研究所
起草人：翟宇鑫、连危洁、杜喜望、韩震、崔崇亮、崔意娟、李爽、田兆永、李颖、陈伟、马兰、韩振生、李惠雨、张毅飞、赵敏