标准号：T/ZZB 3882-2024
标准名称：等离子刻蚀机用硅环
团体名称：浙江省质量协会
发布日期：2024年12月02日
实施日期：2025年01月02日
本文件规定了硅环的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件、订货单内容和质量承诺。
本文件适用于等离子刻蚀机用的p直拉硅单晶加工成的直径200mm～450mm硅环。
起草单位：浙江盾源聚芯半导体科技有限公司、杭州盾源聚芯半导体科技有限公司、杭州中欣晶圆半导体股份有限公司、宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司。
起草人：李长苏、祝建敏、刘志彪、郑小松、郭立华、密思、曾西、范明明、龚益文、祝军、周波、陈东、李熊、丁纺纺、刘永南、王少凡、曹锐、黄鹏。