标准号：T/GVS 005-2022 (2)
标准名称：半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范
团体名称：广东省真空学会
发布日期：2022年03月28日
实施日期：2022年03月28日
规定了半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件要求、精度测试、重复性精度测试、零点、满度温度系数测试、数据处理、复测时间。适用于测量范围在0.01Pa～100kPa的半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试。
起草人：卫红、刘乔、侯少毅、胡强、胡琅、王凤双、刘彭义、陈科球、唐振方、武文全、徐中武、聂鹏、王威。