标准号：T/GVEAIA 031.4-2026
标准名称：稀土介入农产品生产调控 第4部分：设备与校准
团体名称：中关村绿谷生态农业产业联盟
发布日期：2026年04月08日
实施日期：2026年04月08日
5计量特性与校准要求
5.1通用计量特性
5.1.1准确度等级
A类设备：准确度等级不低于1.0级（或误差限≤±1.0%FS）；
B类设备：准确度等级不低于2.5级。
5.1.2分辨力
温度：0.1℃；
压力：0.1Pa（真空段），10Pa（常压段）；
流量：0.1sccm（标准立方厘米每分钟）；
电学：电压0.1V，电流1mA。
5.2专用设备校准要求
5.2.1温度控制系统
蒸发源温度：校准点400℃、500℃、600℃、700℃、800℃，允差±5℃；
反应腔环境温度：校准点25℃、40℃、80℃，允差±2℃；
作物表面温度（红外测温）：校准点20℃、30℃、50℃，发射率设定0.95，允差±1℃。
5.2.2真空/压力系统
真空计（皮拉尼/热偶规）：全量程校准，重点检查10-1-103Pa区间，允差±20%；
压力传感器（薄膜规）：线性度检查103-105Pa，允差±0.5%FS；
差压变送器（若用于风量监测）：零点、量程校准，允差±1%FS。
5.2.3质量流量控制器（MFC）
校准介质：与实际使用气体一致（N2、Ar或空气）；
校准点：20%、50%、80%、100%FS；
允差：±1%FS（高精度型）或±2%FS（普通型）；
重复性：≤0.5%FS。
5.2.4电学参数测量
直流电源：电压0-500V，电流0-5A，允差±1%FS；
射频功率：50-300W，频率13.56MHz±0.05%，功率允差±5%；
阻抗匹配器：驻波比（VSWR）≤1.2。
5.2.5厚度监测设备
椭偏仪：使用SiO2标准薄膜片校准，厚度20nm、50nm、100nm，允差±1nm；
QCM：使用标准频率计校准，频率分辨率0.1Hz，质量灵敏度±2%。
起草人：侯照东、赵春雷、侯权恒、杨荣、白雪、戴崴玲、时传林、刘春影、王茹、郭凤来、付新华