标准号：T/ZOIA 3013-2025
标准名称：晶圆测试用探针卡技术规范
团体名称：中关村光电产业协会
发布日期：2025-06-16
实施日期：2025-06-16
主要内容：1）术语和定义通过对国内外文献调研、与领域专家研讨，确定了本标准的探针卡、探针间距、针位、平坦度、接触电阻、漏电流、针压、过驱动、针径参数等专业词语的定义。2）探针卡的分类和组成概述了探针卡的主要分类包括悬臂式探针卡、垂直式探针卡、MEMS探针卡的介绍和示意图，以及探针卡的组成和相应的功能介绍。3）技术要求概述了探针卡的主要技术指标以及相应的指标要求，探针卡的寿命、探针卡的正常工作环境条件以及对探针卡的外观要求。4）探针卡主要技术指标的检验概述了针对探针卡的主要技术指标推荐的检验方式。5）探针卡验收概述了探针卡的出场检验方式和标志、包装、运输、贮存方面的要求。
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