适用范围：IEC62047-28:2017标准适用于微机电系统（MEMS）领域中的薄膜材料特性测试，特别是针对用于MEMS器件的薄膜材料的机械性能测量方法。该标准规定了测试薄膜材料拉伸性能的具体要求和程序，包括样品制备、测试条件和数据处理方法，旨在为MEMS行业提供统一可靠的薄膜材料机械特性评估规范，确保测试结果的可比性和准确性。
IEC 62047-28:2017 半导体器件 - 微机电器件 - 第28部分：振动驱动MEMS驻极体能量收集装置性能测试方法
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