适用范围：IEC62047-3:2006标准适用于微机电系统（MEMS）领域中的薄膜材料，具体规定了用于MEMS的薄膜材料的测试方法，包括机械性能的测量和评估。该标准主要针对厚度在几微米以下的薄膜材料，适用于半导体、电子、光学和其他相关行业中的MEMS器件制造过程。它为薄膜材料的拉伸性能、残余应力、弹性模量等关键参数的测试提供了统一的测量程序和技术要求，确保测试结果的可靠性和可比性。
IEC 62047-3:2006 半导体器件 - 微机电装置 - 第3部分：拉伸试验用薄膜标准测试片
IEC 62047-3:2006 半导体器件 - 微机电装置 - 第3部分：拉伸试验用薄膜标准测试片
免费下载
声明：资源收集自网络分享，所提供的电子版文档仅供学习参考，如侵犯您的权益，请联系我们处理。
不能下载？报告错误