适用范围：IEC62047-37:2020标准适用于微机电系统（MEMS）领域中的微型能量收集装置，主要规定了这些装置的性能测试和评估方法，包括但不限于机械能、热能、振动能等微型能量转换设备的特性测量、可靠性测试和环境适应性评估，适用于设计、制造和测试微型能量收集装置的相关行业，旨在确保这些装置在微型化和集成化应用中的性能与可靠性满足技术要求。
IEC 62047-37:2020 半导体器件 - 微机电装置 - 第37部分：传感器用MEMS压电薄膜环境试验方法
IEC 62047-37:2020 半导体器件 - 微机电装置 - 第37部分：传感器用MEMS压电薄膜环境试验方法