标准号：SJ/T 10552-2021
标准名称：电子陶瓷用二氧化钛中杂质的发射光谱分析方法
发布日期：2021-03-05
实施日期：2021-06-01
代替标准：SJ/T 10552-1994
标准规定了电子陶瓷用二氧化钛中杂质的发射光谱分析方法。
本标准适用于电子陶瓷用二氧化钛中铁、硅、磷、钙、镁、铝和锑的氧化物杂质的测定。
归口单位：全国半导体设备与材料标准化技术委员会
起草单位：中国电子技术标准化研究院
起草人：张旭、张理、裴会川
标准号：SJ/T 10552-2021
标准名称：电子陶瓷用二氧化钛中杂质的发射光谱分析方法
发布日期：2021-03-05
实施日期：2021-06-01
代替标准：SJ/T 10552-1994
标准规定了电子陶瓷用二氧化钛中杂质的发射光谱分析方法。
本标准适用于电子陶瓷用二氧化钛中铁、硅、磷、钙、镁、铝和锑的氧化物杂质的测定。
归口单位：全国半导体设备与材料标准化技术委员会
起草单位：中国电子技术标准化研究院
起草人：张旭、张理、裴会川