标准号：T/CASME 1953-2025
标准名称：半导体设备用全氟醚橡胶密封制品
团体名称：中国中小商业企业协会
发布日期：2025年03月21日
实施日期：2025年04月21日
本文件规定了半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签和随行文件、包装、运输和贮存。
起草单位：江苏多肯新材料有限公司、安徽多肯创新科技有限公司、扬州曼特勒尔材料科技有限公司
起草人：刘韬、徐丹、刘雪莲
标准号：T/CASME 1953-2025
标准名称：半导体设备用全氟醚橡胶密封制品
团体名称：中国中小商业企业协会
发布日期：2025年03月21日
实施日期：2025年04月21日
本文件规定了半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签和随行文件、包装、运输和贮存。
起草单位：江苏多肯新材料有限公司、安徽多肯创新科技有限公司、扬州曼特勒尔材料科技有限公司
起草人：刘韬、徐丹、刘雪莲