T/CIE 146-2022 微机电(MEMS)器件晶圆键合试验评价方法

T/CIE 146-2022 微机电(MEMS)器件晶圆键合试验评价方法

适用范围：本文件规定了对MEMS器件晶圆键合开展试验评价的方法和程序。 本文件适用于基于晶圆键合工艺加工的MEMS器件，包括MEMS器件成品结构、晶圆键合工艺过程结构等，可用于MEMS器件的提供者、使用者和第三方评价MEMS器件晶圆键合结构的可靠性。 注： 此处第三方是指在MEMS器件产品交付过程中进行认证和提供鉴定、试验等服务的独立机构。