标准号：T/CIET 722-2024
标准名称：半导体用高纯溅射靶材
团体名称：中国国际经济技术合作促进会
发布日期：2024年10月23日
实施日期：2024年10月23日
本文件规定了半导体用高纯溅射靶材的技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输、贮存。
本文件适用于半导体用高纯溅射靶材。
起草人：刘岩、周钢、祁宇、赵智勇、曾墩风、李玉儒、弓艳飞、孔伟华、韩翠柳、黄勇彪、窦程亮、赵健、刘洪强、吴镇旺、韩伟、臧经梅、童维玉、吴永利、汪贤峰、许艳晶、徐敬铭、包瑾、刘世纪。
标准号：T/CIET 722-2024
标准名称：半导体用高纯溅射靶材
团体名称：中国国际经济技术合作促进会
发布日期：2024年10月23日
实施日期：2024年10月23日
本文件规定了半导体用高纯溅射靶材的技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输、贮存。
本文件适用于半导体用高纯溅射靶材。
起草人：刘岩、周钢、祁宇、赵智勇、曾墩风、李玉儒、弓艳飞、孔伟华、韩翠柳、黄勇彪、窦程亮、赵健、刘洪强、吴镇旺、韩伟、臧经梅、童维玉、吴永利、汪贤峰、许艳晶、徐敬铭、包瑾、刘世纪。