标准号：T/SDZDH 0024-2026
标准名称：半导体显示面板制造用湿法清洗设备技术规范
团体名称：山东省自动化学会
发布日期：2026-04-29
实施日期：2026-04-29
主要内容：本文件规定了半导体显示面板（TFT-LCD&OLED）制造用湿法清洗设备的工作原理和类型、主要结构、功能要求与技术要求。本文件适用于半导体显示面板制造领域的以下湿法清洗设备类型：入料前清洗机、成膜前清洗机、涂布前清洗机、印刷前清洗机、蒸镀前清洗机（适用于OLED）、封装前清洗机和研磨/切割后清洗机，其他类型半导体显示面板湿法清洗设备可参照使用。
起草人：王维、于德意、王育才、李芳芳、韩冬、乔佳原、刘海啸、祝加贝、袁珩、靳松、郭以贺、宗见、魏强