T/DZJN 521-2026 半导体设备用石英材料零部件火加工技术规范

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标准号：T/DZJN 521-2026

标准名称：半导体设备用石英材料零部件火加工技术规范

团体名称：中国电子节能技术协会

发布日期：2026-03-19

实施日期：2026-03-19

主要内容：石英材料零部件火加工的堆料、焊接、对接、折弯加工、火补修理的工艺规程，以及石英火加工零部件的质量检测方法、环境管控、清洗要求、设备及辅料要求和焊工要求。

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