标准号：SJ/T 11131-1997
标准名称：蒸发镀膜设备基本参数系列
发布日期：1997-09-02
实施日期：1998-01-01
本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。本标准适用于极限压力为3×10^(-3)P|(a)～5×10^(-6)P|(a)范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。
批准发布部门：电子工业部行业分类无
标准号：SJ/T 11131-1997
标准名称：蒸发镀膜设备基本参数系列
发布日期：1997-09-02
实施日期：1998-01-01
本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。本标准适用于极限压力为3×10^(-3)P|(a)～5×10^(-6)P|(a)范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。
批准发布部门：电子工业部行业分类无