标准号：SJ/T 11185-1998
标准名称：蒸发镀膜设备通用规范
代替标准：SJ 1224－1977
发布日期：1998-03-11
实施日期：1998-05-01
本标准规定了蒸发镀膜设备的分类与型号命名、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于极限压力为3×10^(-3)Pa～5×10^(-6)pa范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。
批准发布部门：电子工业部行业分类无
标准号：SJ/T 11185-1998
标准名称：蒸发镀膜设备通用规范
代替标准：SJ 1224－1977
发布日期：1998-03-11
实施日期：1998-05-01
本标准规定了蒸发镀膜设备的分类与型号命名、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于极限压力为3×10^(-3)Pa～5×10^(-6)pa范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。
批准发布部门：电子工业部行业分类无